废ITO靶材中藏着高价值资源:
在ITO靶材的生产过程中,会产生大量的片状切割废料和喷溅粉末废料。根据鑫联环保科技股份有限公司的研究,这些废料中铟含量高达74%,锡约7%,堪称“高品位再生资源”。
长期以来,很多企业因缺乏成熟的回收技术,只能将废靶材堆存或外运处理,不仅造成金属浪费,还带来了环境污染。面对这种状况,鑫联环保在2020年启动了废ITO靶材回收铟、锡项目,并于2021年实现了产业化突破。
ITO废旧靶材中铟含量的准确测定,是评估其回收价值、优化议价能力的核心环节。作为含铟废料回收的关键步骤,需结合科学检测方法与现场快速筛查手段,确保数据可靠、流程。
二、现场快速筛查技术(适用于初步分类与估价)
在回收一线作业中,为提率、实现分级管理,可采用以下便携式工具进行初筛:
XRF便携式荧光光谱仪
可在现场对块状、粉末状ITO废料进行非破坏性检测,检出限≤50 ppm,能在数十秒内给出铟的大致含量,是目前常用的现场初筛工具。但需注意,XRF对薄膜类样品(如镀膜玻璃)测量误差较大,建议结合取样分析。
分级分类辅助判断
根据废料来源和物理形态,可初步预估铟含量:
废旧ITO靶材残块:铟含量通常在70%以上,优质残靶可达85%~90%
靶材边角料与次品:含量接近原材,约85%–90%
溅射粉尘或靶灰:因氧化和污染,含量可能降至50%以下,需谨慎评估
氧化铟锡靶材是制造透明导电薄膜的核心材料,广泛应用于平板显示器、触控面板、太阳能电池等领域。其生产对高纯度铟和锡资源依赖性强,而铟作为一种稀散金属,在地壳中储量有限且分布不均。随着电子信息产业持续扩张,对靶材的需求增长与初级矿产资源有限性之间的矛盾日益凸显,这使得从废弃靶材或生产废料中回收有价金属,不仅成为一种资源补充途径,更是一项涉及材料科学、冶金工程和环境保护的综合性技术课题。